01
行业挑战
极低 TOC、高电阻率、严格微粒控制和稳定的产水一致性。
02
方案设计
RO+NF+UF 多级膜分离组合，逐级去除盐分、有机物和微粒，为终端精处理提供稳定前处理水质。
03
推荐配置
PURE 苦咸水淡化系列MATE100 纳滤膜系列ULTRA 超滤膜系列
Process Design
电子超纯水推荐工艺
从原水预处理到产水回用与浓水处置，形成可进一步校核的完整技术路线。
预处理
UF
多介质过滤 / UF
去除悬浮物、胶体和微生物，保护后续脱盐系统。
硬度控制
NF
软化 / NF 与精滤
降低硬度、碱度与结垢倾向，为高回收率运行创造条件。
一级脱盐
RO
一级 RO
去除大部分溶解盐、硅和有机物，形成预脱盐水。
深度脱盐
RO
二级 RO / EDI
进一步降低离子负荷，为超纯水抛光段提供稳定进水。
终端抛光
UV
UV、混床与终端 UF
控制痕量离子、TOC 和微粒，匹配生产端用水要求。
循环供水
06
储存与循环回路
采用连续循环和末端监测，保持输送过程水质稳定。
UF
01 · 预处理
多介质过滤 / UF
去除悬浮物、胶体和微生物，保护后续脱盐系统。
输出：稳定低浊进水
NF
02 · 硬度控制
软化 / NF 与精滤
降低硬度、碱度与结垢倾向，为高回收率运行创造条件。
输出：降低结垢风险
RO
03 · 一级脱盐
一级 RO
去除大部分溶解盐、硅和有机物，形成预脱盐水。
输出：低 TDS 产水
RO
04 · 深度脱盐
二级 RO / EDI
进一步降低离子负荷，为超纯水抛光段提供稳定进水。
输出：高纯水基水
UV
05 · 终端抛光
UV、混床与终端 UF
控制痕量离子、TOC 和微粒，匹配生产端用水要求。
输出：超纯水
06
06 · 循环供水
储存与循环回路
采用连续循环和末端监测，保持输送过程水质稳定。
输出：稳定到达用水点
进水侧
工业原水
产水侧
电子级超纯水
浓水 / 副产物
RO 浓水 / 再生废水
工程说明
电子级超纯水工艺需根据晶圆线、面板或光伏产线的电阻率、TOC、硼、硅和微粒指标进一步细化抛光段。
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